臭氧發(fā)生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發(fā)生器結(jié)構(gòu)劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結(jié)構(gòu)特點是臭氧在內(nèi)外電極區(qū)間的間隙內(nèi)產(chǎn)生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發(fā)生器的電極是裸露在空氣中的，所產(chǎn)生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發(fā)生器可代替開放式發(fā)生器使用。但間隙放電式臭氧發(fā)生器成本遠開放式。

臭氧發(fā)生器系統(tǒng)設(shè)計時，能防止大量水進入到發(fā)生器內(nèi)。
水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結(jié)水閥阻塞卡住，都會造成發(fā)生器電暈室內(nèi)灌水。電暈室內(nèi)大量進水可導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過早失效。即使檢測裝置在水進入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質(zhì)也會沉積在元件表面上，這些雜質(zhì)在繼續(xù)運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內(nèi)，至少會造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統(tǒng)設(shè)計和操作規(guī)程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進入發(fā)生器內(nèi)。

臭氧發(fā)生器電路由三極管VT1、VT2與電感線圈L1一13、脈沖變壓器T、限流電阻器R1、充電電容器C3,雙向觸發(fā)二極管叨5等組成推挽振蕩電路；濾波電感線圈L0,整流二極管VD1與濾波電容器C1、C2等組成半波整流濾波電路。 接通電源，交流220V電壓經(jīng)LO濾波，VD1整流后，在C1兩端產(chǎn)生十280V左右的電壓，供給推挽振蕩電路。 在開機瞬間，VT1導通。由于C3的充電作用，雙向觸發(fā)二極管VD5截止。當C3兩端的充電電壓升至32V時，VD5被觸發(fā)而導通，使VT2導通。在VT2導通期間，C3逐漸放電，又使VT2截止。VTl導通后，在脈沖變壓器T的作用下，L1、L2上產(chǎn)生正反饋電壓，此電壓分別加至VTl和VT2的基極，使VTl和VT2交替導通與截止（即VTl導通時，VT2截止；VT2導通時，VTl截止），推挽振蕩電路振蕩工作。 推挽振蕩電路工作后，在脈沖變壓器T的二次側(cè)繞組L6上產(chǎn)生脈沖高壓，使臭氧發(fā)生片VG工作，產(chǎn)生臭氧。

臭氧系統(tǒng)的核心技術(shù)和設(shè)備是發(fā)生器中的放電管，直接影響設(shè)備的運行效率和可靠性。臭氧發(fā)生器采用微間隙介質(zhì)阻擋放電設(shè)計，不僅大大提高了運行的效率，而且增加了系統(tǒng)連續(xù)運行的安全可靠性。設(shè)備的技術(shù)參數(shù)已經(jīng)達到國際水平。 由于采用微間隙放電技術(shù)，使系統(tǒng)運行電壓降低為6-8 kV，遠低于玻璃管絕緣介質(zhì)的耐壓水平，有效地避免了介質(zhì)擊穿短路故障的發(fā)生，提高了運行可靠性。 臭氧發(fā)生器放電單元所采用的模塊化設(shè)計方法，使設(shè)備的安裝，檢修和維護工作更加容易。在進氣氣源質(zhì)量的條件下，臭氧發(fā)生器放電單元連續(xù)運行的免維護時間可以長達5年。
紫外線式臭氧發(fā)生器 ： 該類臭氧發(fā)生器是使用特定波長(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產(chǎn)生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產(chǎn)量低、使用壽命短，所以這種發(fā)生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。
放電式臭氧發(fā)生器： 為了改善放電狀況、提高放電效率,人們研究了如線狀、刷狀、螺線狀、網(wǎng)狀、水不同形式的電極。且放電形式局限于無聲、脈沖流注、電暈、沿面、無聲-沿面混合及輝光放電等形式 。 無聲放電(即介質(zhì)阻擋放電)的電介質(zhì)是無聲放電臭氧發(fā)生器的重要組成,其作用為強化氣隙的電場強度以利于產(chǎn)生放電;防止氣隙擊穿,同時減小功率消耗;使氣隙的電場均勻,擴大放電區(qū)域,利于臭氧的產(chǎn)生。一般而言,電介質(zhì)的介電系數(shù)越高,導熱性能越好越利于產(chǎn)生臭氧。臭氧發(fā)生器所用的電介質(zhì)主要有石英玻璃、陶瓷、搪瓷、有機材料等多種類型。