臭氧易分解，不穩(wěn)定參比狀態(tài)下臭氧的半衰期為 22~25 分鐘，一個(gè)小時(shí)的衰退率為 61% ，在 1% 的臭氧水溶液中半衰期約為 16 分鐘，且溫度越高，濕度越大，半衰期越短。臭氧具有很強(qiáng)的氧化能力。
臭氧水殺滅情況有些不同，其氧化反應(yīng)有兩種，微生物菌體既與溶解水中的臭氧直接反應(yīng)，又與臭氧分解生成之羥基OH的間接反應(yīng)，由于羥基OH為氧化性的氧化劑，因此臭氧水的殺菌速度極快。

臭氧的應(yīng)用主要以發(fā)生量來(lái)確定，分為氣態(tài)下消毒和液態(tài)下消毒兩大類。臭氧發(fā)生量和使用量一般按照發(fā)生量的額定發(fā)生量乘以時(shí)間來(lái)確定，但在不同的用途和不同的場(chǎng)所應(yīng)計(jì)出衰減量而后確定。臭氧發(fā)生器在使用中，氣源的配置直接影響臭氧的發(fā)生濃度、產(chǎn)量和純度，氣源一般分為普通氣源、干燥空氣源、富氧氣源和工業(yè)氧氣氣源四種，以上氣源的配置 ，在發(fā)生裝置相同的情況，濃度和產(chǎn)量依次遞增。按照應(yīng)用常識(shí)，一般不應(yīng)配置普通氣源，因?yàn)檫@會(huì)影響發(fā)生裝置的連接使用壽命并導(dǎo)致發(fā)生量不穩(wěn)定。

食品行業(yè)應(yīng)用臭氧的目的有兩個(gè)方面：一是殺滅微生物－殺菌消毒；二是氧化分解有機(jī)或無(wú)機(jī)物污染氣味－除臭凈化 。兩方面的應(yīng)用基礎(chǔ)均依賴于O3的強(qiáng)氧化性能和不穩(wěn)定易分解的特性 。臭氧去除異味性能。依靠其氧化性能可快速分解產(chǎn)生臭味及其他氣味的有機(jī)或無(wú)機(jī)物質(zhì)。臭味的主要成分是胺R3N、硫化氫H2S、甲硫醇CH3SH等。臭氧對(duì)其氧化分解，生成物沒(méi)有氣味。
紫外線以光波輻射作用殺菌，只有照射到的位置且達(dá)到照射強(qiáng)度標(biāo)準(zhǔn)才有殺菌效果。食品加工車(chē)間很高、很大，照射強(qiáng)度與距離平方成反比，強(qiáng)度不夠，照射又有很大死角。臭氧為氣體，擴(kuò)散性好，無(wú)死角，濃度均勻紫外線殺菌在相對(duì)濕度60%以上時(shí)效果急劇下降，80%濕度上時(shí)反可誘使細(xì)菌復(fù)活。臭氧則相反，濕度越高殺菌效果越好，對(duì)食品行業(yè)80%－90%高濕環(huán)境特別適合
按臭氧產(chǎn)生部件的結(jié)構(gòu)劃分，有密閉式和開(kāi)放式兩種。密閉式發(fā)生器的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是密封體本身就是電極，臭氧能夠集中使用，如用于水處理。開(kāi)放式發(fā)生器的電極是裸露在空氣中的，所產(chǎn)生的臭氧無(wú)法集中使用，通常只用于較小空間的空氣凈化或某些小型物品表面消毒。密閉式發(fā)生器可代替開(kāi)放式發(fā)生器使用。密閉式發(fā)生器的成本遠(yuǎn)開(kāi)放式發(fā)生器。值得注意的是，有些人把開(kāi)放式發(fā)生器硬性封裝起來(lái)，冒充密閉式發(fā)生器。這樣做的結(jié)果是由于大量的熱量無(wú)法及時(shí)散發(fā)，臭氧衰減嚴(yán)重，發(fā)生器也很快燒損。
高壓放電式發(fā)生器： 該類臭氧發(fā)生器是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場(chǎng)，使電場(chǎng)內(nèi)或電場(chǎng)周?chē)难醴肿影l(fā)生電化學(xué)反應(yīng)，從而制造臭氧。 這種臭氧發(fā)生器具有技術(shù)成熟、工作穩(wěn)定、使用壽命長(zhǎng)、臭氧產(chǎn)量大（單機(jī)可達(dá)1Kg/h）等優(yōu)點(diǎn)，所以是國(guó)內(nèi)外相關(guān)行業(yè)使用廣泛的臭氧發(fā)生器。