臭氧消毒機主要用于食品藥品化妝品等行業(yè)的加工車間和類似場所的空氣滅菌和物體表面滅菌。臭氧消毒機按安裝形式可分為：移動式、壁掛式、吊燈式、落地式等。臭氧消毒機在制藥廠GMP車間和HVAC系統(tǒng)配套使用時，通常分為內置式和外置式兩種。使用臭氧發(fā)生器制取臭氧的機器稱為臭氧消毒機，這里臭氧作為消毒劑使用。

高壓放電式臭氧消毒機是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發(fā)生電化學反應，從而制造臭氧。這種臭氧消毒機具有技術成熟、工作穩(wěn)定、使用壽命長、臭氧產量大（單機可達1Kg/h）等優(yōu)點，所以是國內外相關行業(yè)使用廣泛的臭氧消毒機。
電解式臭氧消毒機通常是通過電解純凈水而產生臭氧。這種發(fā)生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡單。但由于有臭氧產量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途范圍受到限制。這種發(fā)生器只是在一些特定的小型設備上或某些特定場所內使用，不具備取代高壓放電式發(fā)生器的條件。
高壓放電式臭氧消毒機按使用的氣體原料劃分，有氧氣型和空氣型兩種。氧氣型通常是由氧懂店擔氣瓶或制氧機供應氧氣。空氣型通常是使用潔凈干燥的壓縮空氣作為原料。由于臭氧是靠氧氣來產生的，而空氣中氧氣的含量只有21%，所以空氣型發(fā)生器產生的臭氧濃度相對較低，而瓶裝或制氧機的氧氣純度都在90%以上，所以氧氣型發(fā)生器的臭氧濃度較高。
按介電材料劃分，常見的有石英管（玻璃的一種）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。使用各類介電材料制造的臭氧消毒機市場上均有銷售，其性能各有不同，玻璃介電體成本低性能穩(wěn)是人工制造臭氧使用早的材料之一，但機械強度差。陶瓷和玻璃類似但陶瓷不宜加工特別在大型臭氧機中使用受到限制。搪瓷是一種新型介電材料，介質和電極于一體機械強度高、可精密加工精度較高，在大中型臭氧消毒機中廣泛使用，但制造成本較高。
紫外線式臭氧消毒機機是使用特定波長(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發(fā)生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。
高壓放電式臭氧消毒機是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發(fā)生電 移動式臭氧消毒機 化學反應，從而制造臭氧。這種臭氧消毒機具有技術成熟、工作穩(wěn)定、使用壽命長、臭氧產量大（單機可達1Kg/h）等優(yōu)點，所以是國內外相關行業(yè)使用廣泛的臭氧消毒機。