臭氧發(fā)生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發(fā)生器結(jié)構(gòu)劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結(jié)構(gòu)特點是臭氧在內(nèi)外電極區(qū)間的間隙內(nèi)產(chǎn)生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發(fā)生器的電極是裸露在空氣中的，所產(chǎn)生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發(fā)生器可代替開放式發(fā)生器使用。但間隙放電式臭氧發(fā)生器成本遠開放式。

臭氧發(fā)生器系統(tǒng)設計時，能防止大量水進入到發(fā)生器內(nèi)。
水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結(jié)水閥阻塞卡住，都會造成發(fā)生器電暈室內(nèi)灌水。電暈室內(nèi)大量進水可導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過早失效。即使檢測裝置在水進入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質(zhì)也會沉積在元件表面上，這些雜質(zhì)在繼續(xù)運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內(nèi)，至少會造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統(tǒng)設計和操作規(guī)程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進入發(fā)生器內(nèi)。

臭氧系統(tǒng)的核心技術和設備是發(fā)生器中的放電管，直接影響設備的運行效率和可靠性。臭氧發(fā)生器采用微間隙介質(zhì)阻擋放電設計，不僅大大提高了運行的效率，而且增加了系統(tǒng)連續(xù)運行的安全可靠性。設備的技術參數(shù)已經(jīng)達到國際水平。 由于采用微間隙放電技術，使系統(tǒng)運行電壓降低為6-8 kV，遠低于玻璃管絕緣介質(zhì)的耐壓水平，有效地避免了介質(zhì)擊穿短路故障的發(fā)生，提高了運行可靠性。 臭氧發(fā)生器放電單元所采用的模塊化設計方法，使設備的安裝，檢修和維護工作更加容易。在進氣氣源質(zhì)量的條件下，臭氧發(fā)生器放電單元連續(xù)運行的免維護時間可以長達5年。

臭氧是一種氧化性的不穩(wěn)定氣體，臭氧輸出濃度受多種因素的影響，其中腔體溫度是極重要的因素之一；臭氧在30度左右時會在1分鐘內(nèi)衰減一半。在 40~50℃ 時衰減達到80%。超過60℃臭氧會馬上分解。 臭氧產(chǎn)量是指臭氧發(fā)生器單位時間內(nèi)臭氧的產(chǎn)出量；臭氧濃度數(shù)值與進入臭氧發(fā)生器總氣量數(shù)值的乘積即為臭氧產(chǎn)量；通常使用mg/h,g/h,kg/h這些單位表示。臭氧發(fā)生器標準中規(guī)定臭氧發(fā)生器規(guī)格型號使用臭氧產(chǎn)量表示和區(qū)分。小型臭氧發(fā)生器使用g/h為單位，大型臭氧發(fā)生器使用kg/h為單位區(qū)分規(guī)格的大小。
電解式發(fā)生器： 該類臭氧發(fā)生器通常是通過電解純凈水而產(chǎn)生臭氧。這種發(fā)生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡單。但由于有臭氧產(chǎn)量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途范圍受到限制。這種發(fā)生器只是在一些特定的小型設備上或某些特定場所內(nèi)使用，不具備取代高壓放電式發(fā)生器的條件。
紫外線式臭氧發(fā)生器 ： 該類臭氧發(fā)生器是使用特定波長(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產(chǎn)生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產(chǎn)量低、使用壽命短，所以這種發(fā)生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。