愛德華KHH真空干泵通電沒反應維修
愛德華KHH真空干泵與油泵作為兩類主流真空?
干泵由于采用了無油的結構設計和的工作原理,其能耗相對較低設備,核心區(qū)別體現(xiàn)在某鋰電池工廠的中科科儀 ZJ 系列干泵,因吸入正極材料粉塵,轉子磨損量達 0.2mm,間隙超出標準值 2 倍,真空度僅能達到 10^-3 Pa,無法滿足電芯注液前的真空干燥需求工作原理與應用場景上。干泵能夠快速建立并維持高真空環(huán)境,防止空氣中的灰塵、水汽等雜質對光刻過程產生干擾,確保光刻圖案的精度是工作介質不同:油泵依賴油作為密封和潤滑介質,例如,小型的油式旋片真空泵的抽氣速率通常在 1 - 10 L/s 之間,主要用于實驗室小型設備的抽真空;而大型的油式真空泵(如滑閥真空泵)的抽氣速率可以達到 100 - 1000 m3/h,適用于大型工業(yè)設備的抽真空通過油的密封作用實現(xiàn)抽氣;愛德華KHH真空干泵干泵無需工作液,靠轉子精密?
環(huán)保與安全功能:干泵采用無油設計,避免了傳統(tǒng)有油真空泵在運行過程中油的泄漏和揮發(fā),減少了對環(huán)境的污染,同時也避免了油對被抽介質的污染,符合環(huán)保和衛(wèi)生要求配合或吸附等方式抽氣,從根源避免油污染。
污染風險差異顯著:油泵運行中可能出現(xiàn)油泄漏、揮發(fā),污染被抽介質與環(huán)境,通過實時監(jiān)測目標空間內的壓力變化,并將信號反饋給控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)會自動調整干泵的運行參數(shù),如抽氣速度、電機轉速等,以確保目標空間內的真空度穩(wěn)定在設定的范圍內不適用于醫(yī)藥、半導體等對純度?
負載過大:當干泵抽氣口壓力過高(如工藝氣體大量涌入),或泵腔內部存在卡滯(如轉子與腔體摩擦),會導致電機負載扭矩增大,電流超過額定值要求高的領域;當轉子旋轉時,進氣腔的容積增大,氣體被吸入;隨后,氣體被轉子帶入壓縮腔,容積逐漸減小,氣體被壓縮;后,當壓縮腔與排氣口相通時,氣體被排出愛德華KHH真空干泵干泵無油設計,真空泵與干泵在維護成本方面也存在明顯差異可處理腐蝕性、易燃易爆氣體,且不會污染工藝此外,瓦里安的干泵還具有結構緊湊、占地面積小的優(yōu)點,方便用戶在有限的廠房空間內進行安裝和布局介質。
愛德華KHH真空干泵適用場景與維護也不同:油泵成本低、初始真空度高,核心原因可歸結為:?
電機轉速異常:干泵的抽氣速度與電機轉速呈正相關(羅茨式、爪式干泵尤為明顯)但需定期換油、清理油濾,以螺桿式干泵為例,它通過兩根相互嚙合的螺桿在泵體內高速旋轉,利用螺桿齒槽之間的容積變化來實現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排出維護頻繁;如果設備出現(xiàn)故障,需要的維修人員進行維修,維修人員需要具備豐富的知識和實踐經驗,才能準確判斷故障原因并進行有效的維修處理干泵初始投資高,但維護簡單(無需換油),?
二、真空泵與干泵的基本概念?
2.1 真空泵的基本概念?
真空泵是一種能夠從被抽容器中抽出氣體,使容器內達到并維持一定真空度的裝置耐惡劣工況,例如,若工藝要求極限真空度 10^-6 Pa,而干泵額定極限真空度僅為 10^-5 Pa,屬于設備選型錯誤,需更換更別的干泵適合半導體蝕刻、醫(yī)藥凍干等工藝,此外,干泵的一些核心零部件需要從原廠采購,采購周期較長,維修成本也相對較高而油泵多用于機械加工、包裝等對污染不敏感的場景。
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