3. 開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進入下一步操作。約需5分鐘。
4. 開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以后,關(guān)予抽,開前機和
高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子槍電源。 1. 總電源。
2. 同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源:按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關(guān),延時、電源及保護燈亮,三分鐘后延時及保護燈滅,若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障,保護燈會常亮。
3. 開高壓,高壓會達到10KV以上,調(diào)節(jié)束流可到200mA左右,簾柵為20V/100mA,燈絲電流1.2A,偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。 1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。
2. 待分子泵顯示到50時,依次關(guān)高閥、前級、機械泵,這期間約需40分鐘。
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離子鍍膜,一個精密的工藝過程,其核心是離子濺射鍍膜。對于導(dǎo)電靶,偏壓電源扮演了關(guān)鍵角色,采用直流電場的精密調(diào)控,確保陰極表面的電子被加速,進而轟擊氣體分子,引發(fā)電離現(xiàn)象。這個過程中,電子被電場驅(qū)動,形成雪崩效應(yīng),直至氣體被擊穿,形成穩(wěn)定的電離電流,進而驅(qū)動離子加速,撞擊靶材,將原子釋放并沉積在樣品表面,形成所需涂層。
偏壓電源,就像熒光燈中的核心組件,它通過高頻轉(zhuǎn)換電路,以單極性脈沖方式輸出。電源電壓的精細調(diào)整通過改變高頻轉(zhuǎn)換電路的輸入電壓實現(xiàn),穩(wěn)壓性能高達1%。這種設(shè)計允許在工藝所需電壓的同時,通過調(diào)整脈沖寬度來控制工件的加熱效果,適用于各種涂層需求,從工具保護到裝飾美化。
發(fā)黑通常是由于過早氧化造成的。泛黃一般是因為鋁源中含有雜質(zhì)過多,一般純度應(yīng)在4 N或5N以上。無論是涂布機的真空度不達標,都要達到10—7倍Pa。(不準確)。涂敷物品的清洗不,表面殘留有清潔劑和水。被涂物品表面溫度不合理,溫度過高或過低。涂層項目的潛在設(shè)置不合理。真空擴散泵油應(yīng)更換。調(diào)節(jié)蒸發(fā)源的溫度,不能太低或太高。如果電子束蒸發(fā),電子束的轟擊位置也應(yīng)該調(diào)整。
1.在真空鍍膜機運轉(zhuǎn)正常情況下,開動真空鍍膜機時,先開水管,工作中應(yīng)隨時注意水壓。
2.在離子轟擊和蒸發(fā)時,應(yīng)特別注意高壓電線接頭,不得觸動,以防觸電。
3.在用電子槍鍍膜時,應(yīng)在鐘罩外圍上鋁板。觀察窗的玻璃好用鉛玻璃,觀察時應(yīng)戴上鉛玻璃眼鏡,以防X射線侵害人體。
4.鍍制多層介質(zhì)膜的鍍膜間,應(yīng)安裝通風(fēng)吸塵裝置,及時排除有害粉塵。
5.易燃有毒物品要妥善保管,以防失火中毒。
6.酸洗夾具應(yīng)在通風(fēng)裝置內(nèi)進行,并要戴橡皮手套。
7.把零件放入酸洗或堿洗槽中時,應(yīng)輕拿輕放,不得碰撞及濺出。平時酸洗槽盆應(yīng)加蓋。
8.工作完畢應(yīng)斷電、斷水。
需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。
蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
利摘要顯示,本申請關(guān)于一種真空鍍膜自動加料裝置,涉及真空鍍膜領(lǐng)域。該真空鍍膜自動加料裝置包括支架,支架上安裝有滑動機構(gòu),滑動機構(gòu)上安裝有驅(qū)動機構(gòu)以及加料機構(gòu),驅(qū)動機構(gòu)的動力輸出端與加料機構(gòu)傳動連接;加料機構(gòu)的上方還安裝有儲料罐,儲料罐將粉料輸送至加料機構(gòu)內(nèi),加料機構(gòu)與外部管式爐的進料口接駁;其中,儲料罐上還安裝有攪拌機構(gòu),攪拌機構(gòu)將儲料罐內(nèi)的粉料均勻的輸送至加料機構(gòu)內(nèi)。實現(xiàn)了在CVD過程中,粉末狀態(tài)的蒸發(fā)材料(如派瑞林)少量、連續(xù)進入管式爐以進行后續(xù)的加熱、升華、裂解工藝,既滿足了蒸發(fā)材料的用量,又達到了實時動態(tài)調(diào)整進料量的目的,提升了鍍膜效果,并實現(xiàn)了一種以上的蒸發(fā)材料復(fù)合鍍膜的工藝需求。
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