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本文從晶體生長物理基礎(chǔ)和流體力學的基本理論出發(fā),結(jié)合硅單晶制備過程中熱質(zhì)輸運的分析,采用實驗和數(shù)值分析相結(jié)合的方法,以大直徑硅單晶制備為主要研究對象,研究熱場結(jié)構(gòu)、控制參數(shù)和外加磁場對大直徑硅單晶生長的影響。通過數(shù)值分析的手段,研究了結(jié)構(gòu)參數(shù)和控制參數(shù)對晶體生長特性的影響,確定了晶體制備的工藝條件;采用28inch和32inch熱場制備出400mm和45

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除塵機理示、擴散當含塵氣流中的粉塵顆粒粒徑小于1Lm 以下,特別小于0.1Lm 時，這些顆粒在隨氣流運動時不再沿著氣體流線繞流捕集物，因而也再不能遵循慣性碰撞或接觸阻留的機理被捕集物所捕集分離，而另一捕集機理——擴散在起作用。由于氣體分子之間的熱運動而產(chǎn)生的不規(guī)則運動，使氣體分子之間的熱運動而產(chǎn)生的不規(guī)則運動，使氣體分子轟擊著粉塵顆粒而使顆粒作擴散，可以使粉塵顆粒均勻地分布于整個氣體空間。真空技術(shù)網(wǎng)(認為如果有一物體置于氣體之中，一些超微顆粒通過擴散而沉降在這物體的表面上，從而使這些超微顆粒從氣體中捕集分離、靜電力懸浮在氣流中的塵粒，如帶有一定的電荷，可以通過靜電力使它從氣流中分離。由于自然狀態(tài)下，塵粒的荷電量很小，因此，要得到較好的除塵效果，設(shè)置的高壓電場，使所有的塵粒都充分荷電。凝聚凝聚作用不是一種直接的除塵機理。通過超聲波、蒸汽凝結(jié)、加濕等凝聚作用，可以使微小粒子凝聚增大，然后再用一般的除塵方法去除。我們設(shè)計除塵器時要根據(jù)不同的具體情況，考慮一定的需要，采用某種除塵機理或者是幾種除塵機理的綜合運用。表1 列出幾種除塵機理的除塵情況供為參考。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，直拉式單晶生長爐的制作方法、專利名稱：直拉式單晶生長爐的制作方法、技術(shù)領(lǐng)域：本發(fā)明涉及一種直拉式單晶生長爐。背景技術(shù)：圖1為切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的單晶爐剖面示意圖；圖1-2 中，l為爐筒，2為保溫蓋，3為保溫蓋，4為保溫材津牛，5為保溫罩，6為 加熱器，7為水套，8為石英堝，9為導(dǎo)流筒，IO為爐底護盤、12為輸 入管、11為分布有出氣孔11-1的環(huán)形氣體分布器、13為排氣口。直拉硅單晶在生長過程中需要向爐內(nèi)不斷充入，并與爐內(nèi)生成的 一氧化硅及雜質(zhì)粉塵混合，由于單晶爐內(nèi)的加熱器和坩堝支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蝕所述石墨制成的器件且雜質(zhì)粉塵易吸附在這些器 件上，從而影響了單晶爐的使用壽命。

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