石墨舟烘箱與普通烘箱本質(zhì)的區(qū)別是防腐性能的不同。石墨舟酸洗浸泡6-8小時,之后進(jìn)行清水洗,然后用N2或CAD將石墨舟表面水分吹掃,再用石墨舟烘箱進(jìn)行烘干。所以可想而知石墨舟烘箱的耐腐蝕性能一定要強(qiáng),否則很容易導(dǎo)至酸性液體滲透至箱體內(nèi)部,造成可挽回的損失。石墨舟烘箱在內(nèi)部材料選擇上也要特殊要求,選擇耐腐蝕性能好的不銹鋼板材,制作工藝上要求技術(shù)成熟,焊縫焊點做好拋光打磨處理。耐普通烘箱一般只要求溫度均勻,結(jié)構(gòu)優(yōu)良,智能操作,便于維修即可,對防腐性能的要求不是很高,所以普能烘箱在生產(chǎn)成本上要比石墨舟烘箱低很多。
石墨舟是用于半導(dǎo)體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成,用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護(hù)對于確保其正常運行和延長使用壽命至關(guān)重要。
石墨舟是一種以石墨為基材的特種舟皿,具有耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、強(qiáng)度高、導(dǎo)電性能等特點。近年來,隨著新材料技術(shù)的不斷發(fā)展,石墨舟在許多領(lǐng)域的應(yīng)用逐漸受到關(guān)注。
目前國內(nèi)干燥箱的保溫材質(zhì)主要是以纖維棉為主,少數(shù)采用聚氨酯,下面談?wù)剝煞N材質(zhì)的不同特點。從保溫效果來講,聚氨酯的耐溫與絕熱效果要好于纖維棉,一般聚氨酯可以使箱體內(nèi)的高溫在大幾個小時內(nèi)保持穩(wěn)定,值得一提的是,聚氨酯的絕熱性能,可有效地防止箱體外溫度過高燙傷操作員。纖維棉材質(zhì)的干燥箱在高溫時,只能靠溫度控制器不停的控制與調(diào)節(jié),保持箱內(nèi)溫度的穩(wěn)定,這樣大大增加了風(fēng)機(jī)與控制器的工作強(qiáng)度,從而降低了干燥箱的使用壽命。再從后期維護(hù)來講,由于聚氨酯是整個注塑到箱體內(nèi)的,后期維修時特別繁瑣,維修前需要將聚氨酯全部掏出來,修好后再注塑進(jìn)去。而纖維棉不會這么麻煩,操作簡單。后從市場上講,纖維棉的價格非常便宜,且可滿足大部分的保溫要求,運用廣泛,武漢尚測建議:纖維棉越細(xì),厚度越大,保溫質(zhì)量越高。干燥箱的密封一般都是采用的硅橡膠,密封效果很好。
使用須知
1、該箱安放在室內(nèi)干燥的地面和工作臺面處,二氧化碳培養(yǎng)箱不必使用其他固定裝置。
2、應(yīng)在供電線路中安裝閘刀或空氣開關(guān)一只,供此箱,并用比電源線截面積粗一倍之導(dǎo)線作接地線。
3、通電前,先檢查本箱的電氣性能,并應(yīng)注意是否有斷路或漏電現(xiàn)象。
4、待一切準(zhǔn)備就緒,可放入試品,關(guān)上箱門,干燥箱必要時可旋開排氣閥,空隙約10mm左右。
5、隔水式培養(yǎng)箱,恒溫水浴將蒸餾水或去離子水接至進(jìn)水口,加水至溢水口為止。
電熱鼓風(fēng)烘箱是用數(shù)顯儀表與溫度傳感器的連接來控制工作室的溫度,采用熱風(fēng)循環(huán)送風(fēng)來干燥物料,熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)分為水平送風(fēng)和垂直送風(fēng),均經(jīng)過設(shè)計,風(fēng)源是由電機(jī)運轉(zhuǎn)帶動送風(fēng)風(fēng)輪,使吹出的風(fēng)吹在電熱管上,形成了熱風(fēng),將熱風(fēng)由風(fēng)道送入電熱鼓風(fēng)烘箱的工作室,且將使用后的熱風(fēng)再次吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,大大提高了電熱鼓風(fēng)烘箱溫度均勻性。如電熱鼓風(fēng)烘箱箱門使用中被開關(guān),可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值。
所屬分類:產(chǎn)品加工機(jī)械/烘箱
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