半導(dǎo)體測(cè)試探針的主要應(yīng)用領(lǐng)域包括芯片設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓測(cè)試和半導(dǎo)體成品測(cè)試。它起著連接芯片/晶圓與測(cè)試設(shè)備,并進(jìn)行信號(hào)傳輸?shù)暮诵淖饔?,?duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量控制具有重要意義。
探針一般由精密儀器鉚接預(yù)壓后形成,針頭、針尾、彈簧、外管四個(gè)基本部件。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品體積小,特別是芯片產(chǎn)品尺寸非常小,探針尺寸要求達(dá)到微米級(jí)。它是一種精密電子元器件,具有較高的制造技術(shù)含量。
在晶圓或芯片測(cè)試的過程中,通常會(huì)使用探針來準(zhǔn)確連接晶圓或芯片的引腳或錫球與測(cè)試機(jī),以便檢測(cè)產(chǎn)品的導(dǎo)通性、電流性、功能性和老化性等性能指標(biāo)。
可彈性探針是一個(gè)由螺旋彈簧組成的探針,其兩端連接在上下柱栓上。螺旋彈簧的中間部分緊密纏繞在一起,以防止產(chǎn)生額外的電感和附件電阻。而彈簧的兩端部分則被稀疏纏繞,以降低探針對(duì)被測(cè)試物體的壓力。在檢測(cè)集成電路時(shí),信號(hào)會(huì)從下柱栓流向上方,形成導(dǎo)電路徑。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程十分復(fù)雜,任何一個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)錯(cuò)誤都可能導(dǎo)致大量產(chǎn)品質(zhì)量不合格,甚至對(duì)終的應(yīng)用產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。因此,測(cè)試在半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中具有非常重要的地位,貫穿于半導(dǎo)體產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、包裝和應(yīng)用的整個(gè)過程中。
探針的要求
(1)質(zhì)量問題:在使用過程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差增大,嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
(2)加工工藝問題:在探針的制作過程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項(xiàng):避免在測(cè)量過程中引入空氣,勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動(dòng)測(cè)量,對(duì)于使用多個(gè)探針進(jìn)行測(cè)量的情況要確保探針之間的長度和間距足夠。
(4)存儲(chǔ)和保養(yǎng)問題:盡可能地存儲(chǔ)環(huán)境無除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。
鍍金探針廢料的收集是回收過程的首要步驟。廢料可以從電子制造廠、研究機(jī)構(gòu)和廢舊電子產(chǎn)品處理中心等渠道獲取。收集過程需要與這些機(jī)構(gòu)建立合作關(guān)系,確保廢料的穩(wěn)定供應(yīng)。