設(shè)備包括：

電子槍?zhuān)a(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機(jī)械手（定位機(jī)構(gòu)），
電源以及控制和監(jiān)視電子設(shè)備。

在電子槍中，自由電子是從熱金屬帶（或金屬絲）通過(guò)熱發(fā)射獲得的。然后通過(guò)三個(gè)電極產(chǎn)生的電場(chǎng)將它們加速并形成狹窄的會(huì)聚束：電子發(fā)射帶，連接到高壓（加速）電源（30-200 kV）負(fù)極和正極的陰極。高壓電極、陽(yáng)極。第三個(gè)電極相對(duì)于陰極帶負(fù)電，稱(chēng)為Wehnelt電極或控制電極。它的負(fù)電位控制發(fā)射的電子進(jìn)入加速場(chǎng)的部分，即電子束電流。

快速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當(dāng)?shù)碾娮釉O(shè)備）。在這種情況下，設(shè)備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類(lèi)似的模式下，由計(jì)算機(jī)控制的細(xì)光束可以通過(guò)熔化薄的表面層在金屬表面“寫(xiě)”或“畫(huà)”圖片。

電子束設(shè)備為束發(fā)生器提供適當(dāng)?shù)碾娫?。加速電壓可以?0到200 kV之間選擇。通常取決于各種條件，約為60或150 kV。隨著電壓的升高，技術(shù)問(wèn)題和設(shè)備價(jià)格迅速上升，因此，只要有可能，就應(yīng)選擇大約60 kV的較低電壓。高壓電源的xxx功率取決于所需的焊接深度。

電子束焊是熔化焊的一種，它運(yùn)用集聚的高速電子束炮擊工件接縫，發(fā)生熱能從而使金屬熔合。真空電子束焊機(jī)提示它包含了機(jī)械、真空、高電壓和電磁場(chǎng)理論、電子光學(xué)、自動(dòng)控制和計(jì)算機(jī)等多學(xué)科技術(shù)。這也是干式螺桿真空泵廠(chǎng)家要講的，真空體系中常用焊接辦法的第三種。

宇航技術(shù)中所用各類(lèi)火箭、衛(wèi)星、飛船、空間站、太陽(yáng)能電站等的結(jié)構(gòu)件、發(fā)動(dòng)機(jī)以及各種儀器均需用焊接技術(shù)來(lái)完結(jié)，電子束焊接將是完結(jié)空間結(jié)構(gòu)焊接和滿(mǎn)足其需求的強(qiáng)有力技術(shù)。且跟著設(shè)備、技術(shù)等國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)的增強(qiáng)，及電子束焊接等技術(shù)對(duì)焊材及人工本錢(qián)的大幅下降優(yōu)勢(shì)逐漸趨于明顯等，國(guó)內(nèi)電子束焊機(jī)等電子束金屬加工設(shè)備工作展開(kāi)將迎來(lái)利好趨勢(shì)，給電子束焊機(jī)的展開(kāi)增添了新的生機(jī)。