懸浮管理體系的基本要素是確保金剛石顆粒物的勻稱懸浮,不地基沉降,那樣每一次滴注的懸浮液中所帶有的金剛石磨??倲?shù)非常,才可以完成加液。除此之外,懸浮液體得確保金剛石的勻稱分散化,不結(jié)塊,不產(chǎn)生假二次顆粒物。伴隨著技術(shù)性的發(fā)展,懸浮管理體系又集成化了制冷作用和潤化作用,促使拋光全過程更為光滑可控性。
納米金剛石球形形狀和細(xì)粒度粉體能達(dá)到超精密的拋光效果,且具有良好的分散穩(wěn)定性,能保持長時間不沉降,粉體在分散液中不發(fā)生團聚。廣泛用于硬質(zhì)材料的超精密拋光過程,可使被拋表面粗糙度低于0.2nm。
金剛石拋光液(又稱懸浮液,鉆石研磨液)包括聚晶、單晶和納米3種不同類型的拋光液。金剛石拋光液由金剛石微粉、復(fù)合分散劑和分散介質(zhì)組成,配方多樣化,對應(yīng)不同的研拋過程和工件,適用性強。產(chǎn)品分散性好、粒度均勻、規(guī)格、質(zhì)量穩(wěn)定,廣泛用于硬質(zhì)材料的研磨和拋光。
對于極軟材質(zhì),多晶金剛石的快速磨削能在較短時間內(nèi)快速去除劃痕的同時確保材料表面不發(fā)生變形,屬于“溫柔”去痕;對于極硬材料而言,去除上道劃痕往往需要長時間的磨拋,容易引起邊角圓化,對后續(xù)顯微聚焦造成影響,多晶金剛石的高磨削效率能快速完成拋光步驟,防止圓角產(chǎn)生,屬于“強力”磨削。
懸浮液中的金剛石,磨粒始終處于均勻浮游的狀態(tài),具備優(yōu)良的分散性,且能很好的附著在磨拋載體(如磨盤、砂紙、拋光布)上,因具強力粘結(jié)性而使磨拋設(shè)備即便在高速運中,金剛石磨粒也不會流失,損耗極低。
金剛石懸浮液(CMP研磨液)是一種由人造鉆石磨粒分散于水基或油基液體中制備而成的拋光懸浮液。它在硅片、硬質(zhì)合金、高密度陶瓷、藍(lán)寶石襯底體等多個領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。金剛石研磨液所含微粒是其發(fā)揮機械作用的關(guān)鍵因素。不同種類、不同粒度的金剛石微粉,拋光去除效果各不相同。例如,金剛石磨料硬度越高、粒徑越大,磨削效率越高,但加工表面光潔度越低;反之,金剛石磨料硬度越低、粒徑越小,磨削效率越低,而加工表面光潔度越高。所以,可以根據(jù)工件的具體參數(shù)選擇 不同型號和粒徑的金剛石研磨液進(jìn)行粗拋和精拋。