“真空箱氦檢漏”是一種用于檢測設(shè)備或系統(tǒng)是否存在泄漏的常用方法，特別是在高真空或真空系統(tǒng)中。這種方法利用氦氣（He）作為示蹤氣體，通過檢測其在系統(tǒng)中的泄漏路徑來判斷是否存在泄漏。 一、什么是真空箱氦檢漏？ 真空箱氦檢漏 （Helium Leak Detection in Vacuum Chamber）是指在真空系統(tǒng)（如真空箱）中使用氦氣作為示蹤氣體，通過的氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass Spectrometer Leak Detector, HMSLD）來檢測系統(tǒng)是否存在微小泄漏的過程。 二、原理

1. 注入氦氣 ：將氦氣注入被測系統(tǒng)的某個區(qū)域（通常是外部或內(nèi)部）。

2. 2. 檢測泄漏 ：如果系統(tǒng)存在泄漏，氦氣會通過泄漏點進入系統(tǒng)內(nèi)部。

3. 3. 質(zhì)譜分析 ：通過氦質(zhì)譜檢漏儀檢測到泄漏點處的氦氣濃度，從而判斷泄漏的位置和大小。 三、適用范圍 真空系統(tǒng)（如真空泵、真空室、真空管道等） 半導(dǎo)體制造設(shè)備 粒子加速器 航空航天設(shè)備 高真空密封容器 實驗儀器（如質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等） 四、步驟（簡要流程）

4. 1. 系統(tǒng)抽真空 ：將被檢測的真空箱抽至所需的工作真空度。

5. 2. 施加氦氣 ：在的泄漏點周圍噴灑或注入氦氣。

6. 3. 檢測信號 ：使用氦質(zhì)譜檢漏儀監(jiān)測系統(tǒng)內(nèi)部的氦氣濃度變化。

7. 4. 定位泄漏 ：根據(jù)檢測結(jié)果確定泄漏位置。