根據(jù) GB/T 16945 2009《電子工業(yè)用氣體氬》 的要求,氬氣中雜質(zhì)含量的檢測需滿足以下標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定:
檢測方法 : 按照 GB/T 8984 規(guī)定的方法或其他等效的方法測定氬中的微量總烴含量。 如果對(duì)檢測結(jié)果存在異議,則以 GB/T 8984 規(guī)定的方法作為仲裁方法。
2. 儀器檢測限 : 儀器檢測限為 0.05×10??(體積分?jǐn)?shù)) 。
3. 技術(shù)指標(biāo) : 氬氣中的雜質(zhì)總含量(體積分?jǐn)?shù))不得超過 1.8×10?? 。 如需進(jìn)一步檢測細(xì)節(jié)或具體操作步驟,請(qǐng)參考完整版 GB/T 16945 2009 標(biāo)準(zhǔn)文件。