探針一般由精密儀器鉚接預壓后形成,針頭、針尾、彈簧、外管四個基本部件。
由于半導體產(chǎn)品體積小,特別是芯片產(chǎn)品尺寸非常小,探針尺寸要求達到微米級。它是一種精密電子元器件,具有較高的制造技術含量。
在晶圓或芯片測試的過程中,通常會使用探針來準確連接晶圓或芯片的引腳或錫球與測試機,以便檢測產(chǎn)品的導通性、電流性、功能性和老化性等性能指標。
可彈性探針是一個由螺旋彈簧組成的探針,其兩端連接在上下柱栓上。螺旋彈簧的中間部分緊密纏繞在一起,以防止產(chǎn)生額外的電感和附件電阻。而彈簧的兩端部分則被稀疏纏繞,以降低探針對被測試物體的壓力。在檢測集成電路時,信號會從下柱栓流向上方,形成導電路徑。
垂直探針可以對應高密度信號觸點的待測半導體產(chǎn)品的細間距排列,針尖接觸待測半導體產(chǎn)品所需的縱向位移可以通過針體本身的彈性變形來提供。懸臂探針為探針部提供適當?shù)目v向位移,用于通過橫向懸臂接觸待測半導體產(chǎn)品,以避免探針部對待測半導體產(chǎn)品施加過大的針壓。
由于半導體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程十分復雜,任何一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)錯誤都可能導致大量產(chǎn)品質(zhì)量不合格,甚至對終的應用產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。因此,測試在半導體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中具有非常重要的地位,貫穿于半導體產(chǎn)品的設計、制造、包裝和應用的整個過程中。
在眾多探針技術中,五孔探針是一種應用于流體動力學領域,特別是對于復雜流場特性測量的工具。它的設計基于伯努利原理和流體連續(xù)性方程,主要用于測量氣流的速度、壓力分布以及流場的湍流特性。五孔探針因其結(jié)構包含五個開孔而得名,這五個孔一般按照特定的幾何布局排列。
探針的要求
(1)質(zhì)量問題:在使用過程中應定期進行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會導致測量誤差增大,嚴重時可能會損壞實驗設備。
(2)加工工藝問題:在探針的制作過程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項:避免在測量過程中引入空氣,勿使用有陷進、連續(xù)的探針以免擾動測量,對于使用多個探針進行測量的情況要確保探針之間的長度和間距足夠。
(4)存儲和保養(yǎng)問題:盡可能地存儲環(huán)境無除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應清洗干凈且消毒處理。