用途:用于半導(dǎo)體硅片,晶片,玻璃,液晶屏等清洗、腐蝕設(shè)備的承載花籃,太陽能電池片花藍、太陽能硅片花藍_太陽能硅片承載器、光伏電池片花藍、光伏硅片花藍,用于太陽能電池硅片清洗設(shè)備中,用于承載方形太陽能電池硅片。
半導(dǎo)體IC制程主要以20世紀50年代以后發(fā)明的四項基礎(chǔ)工藝(離子注入、擴散、外延生長及光刻)為基礎(chǔ)逐漸發(fā)展起來,由于集成電路內(nèi)各元件及連線相當(dāng)微細,因此制造過程中,如果遭到塵粒、金屬的污染,很容易造成晶片內(nèi)電路功能的損壞,形成短路或斷路等,導(dǎo)致集成電路的失效以及影響幾何特征的形成。因此在制作過程中除了要排除外界的污染源外,集成電路制造步驟如高溫擴散、離子植入前等均需要進行濕法清洗或干法清洗工作。干、濕法清洗工作是在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下,有效地使用化學(xué)溶液或氣體清除殘留在晶圓上之微塵、金屬離子及有機物之雜質(zhì)。
大直徑晶片的清洗采用上述方法不好其清洗過程的完成,通常采用單晶片清洗法,其清洗過程是在室溫下重復(fù)利用DI-O 3/DHF清洗液,臭氧化的DI水(DI-O3 )產(chǎn)生氧化硅,稀釋的HF蝕刻氧化硅,同時清除顆粒和金屬污染物。根據(jù)蝕刻和氧化的要求采用較短的噴淋時間就可獲得好的清洗效果,不會發(fā)生交叉污染。后沖洗不是采用DI水就是采用臭氧化DI水。為了避免水漬,采用濃縮大量氮氣的異丙基乙醇(IPA)進行干燥處理。單晶片清洗具有或者比改良的RCA清洗更好的清洗效果,清洗過程中通過采用DI水及HF的再循環(huán)利用,降低化學(xué)品的消耗量,提高晶片成本效益。
PTFE在化工中的另一大應(yīng)用是密封材料。由于聚四氟乙烯綜合性能良好,是任何一種密封材料都不可比擬的, 它可用于各種苛刻場合的密封,尤其是對于高溫、耐腐蝕性要求較高時。聚四氟乙烯生料帶纖維長、強度高,而且塑性大、壓延性好,施加較小的壓緊力就可完全密封,操作應(yīng)用方便,用在凹凸不平或結(jié)構(gòu)精密的表面更顯其,具有很好的密封性能并且可提高抗腐蝕能力, 擴大其使用范圍。
除熔融金屬鈉和液氟外,和一切化學(xué)藥品不反應(yīng)。在化工生產(chǎn)中,用做設(shè)備襯里、分餾塔、波紋管、泵、閥門、密封墊片等;機械工業(yè)上,用做密封件、活塞環(huán)、轉(zhuǎn)動軸承等;電子工業(yè)上,用于電子計算機信號線絕緣、電纜絕緣、高頻電子儀器絕緣以及制造高頻電纜、電容器、導(dǎo)線等
PTFE的機械性能相對于其他塑料差一些,但在-73℃至204℃寬溫度范圍內(nèi),其性能仍保持在有用的水平。通常通過添加一些填充物來增加其機械性能,它具有非常的熱電絕緣性能并且摩擦系數(shù)很低。PTFE非常致密且不能進行熔融加工,將其壓縮并燒結(jié)以形成有用的形狀。