“真空箱氦檢漏”是一種用于檢測(cè)設(shè)備或系統(tǒng)是否存在泄漏的測(cè)試方法，特別是在需要高真空環(huán)境的應(yīng)用中（如半導(dǎo)體制造、航空航天、科研設(shè)備等）。下面是對(duì)這個(gè)術(shù)語的詳細(xì)解釋： 一、什么是“真空箱”？ 真空箱 是指一個(gè)可以被抽成真空的密閉容器或腔體。它的主要作用是提供一個(gè)無氣體干擾的環(huán)境，用于進(jìn)行各種實(shí)驗(yàn)或測(cè)試。 二、什么是“氦檢漏”？ 氦檢漏 （Helium Leak Detection）是一種高靈敏度的泄漏檢測(cè)技術(shù)，利用氦氣作為示蹤氣體來檢測(cè)系統(tǒng)中的微小泄漏。 原理： 在被測(cè)系統(tǒng)內(nèi)部或外部注入一定量的氦氣。 使用 質(zhì)譜儀 （Mass Spectrometer）或 氦質(zhì)譜檢漏儀 （Helium Mass Spectrometer Leak Detector）來檢測(cè)空氣中是否含有氦氣。 如果存在泄漏，氦氣會(huì)通過泄漏點(diǎn)進(jìn)入檢測(cè)系統(tǒng)，從而被儀器檢測(cè)到。 三、為什么用氦氣？ 氦氣分子小，容易通過微小的泄漏點(diǎn)。 氦氣在空氣中的濃度很低，不會(huì)對(duì)檢測(cè)造成干擾。 氦氣化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，安全性高。 四、“真空箱氦檢漏”的流程

1. 準(zhǔn)備階段 ： 將待檢的設(shè)備或系統(tǒng)安裝在真空箱內(nèi)。 確保所有接口密封良好。

2. 2. 抽真空 ： 使用真空泵將真空箱抽至所需真空度（如10?? mbar 或更低）。

3. 3. 注入氦氣 ： 向被測(cè)系統(tǒng)中注入少量氦氣（通常為標(biāo)準(zhǔn)濃度，如100 ppm）。 或者在真空箱中噴灑氦氣，讓其通過的泄漏點(diǎn)進(jìn)入系統(tǒng)。

4. 4. 檢測(cè)泄漏 ： 使用氦質(zhì)譜檢漏儀監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中的氦氣濃度。 如果檢測(cè)到氦氣，說明存在泄漏。

5. 5. 定位泄漏點(diǎn) ： 可以使用噴槍對(duì)可疑部位進(jìn)行局部噴氦，進(jìn)一步定位泄漏點(diǎn)。 五、應(yīng)用領(lǐng)域 半導(dǎo)體制造：用于檢測(cè)晶圓處理設(shè)備的真空系統(tǒng)。 航空航天：檢測(cè)衛(wèi)星、火箭發(fā)動(dòng)機(jī)等的密封結(jié)構(gòu)。 科研設(shè)備：如粒子加速器、低溫實(shí)驗(yàn)裝置等。 ：如MRI磁體冷卻系統(tǒng)等。 六、優(yōu)點(diǎn) 高靈敏度：可檢測(cè)到10?1? mbar·L/s級(jí)別的泄漏。 非破壞性：不影響被測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和性能。 定位：能準(zhǔn)確找到泄漏位置。 七、注意事項(xiàng) 檢測(cè)前需確保系統(tǒng)清潔，避免雜質(zhì)干擾。 檢測(cè)過程中應(yīng)避免振動(dòng)和電磁干擾。 氦氣價(jià)格較高，需合理控制用量。 如果你有具體的設(shè)備或應(yīng)用場(chǎng)景（真空箱的尺寸、用途、檢測(cè)要求等），我可以幫你更具體地分析如何進(jìn)行氦檢漏測(cè)試。歡迎繼續(xù)提問！