美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計(jì)是為了滿足有關(guān)工藝過程中對測量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，BROOKS質(zhì)量流量計(jì)通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設(shè)計(jì)成質(zhì)量或體積單位。