荏原EBARA干式泵通電沒(méi)反應(yīng)維修
荏原EBARA干式泵與油泵作為兩類主流真空某醫(yī)藥企業(yè)的普發(fā)真空 DUO 系列干泵，因車間電網(wǎng)電壓驟降，電機(jī)轉(zhuǎn)速?gòu)?3000r/min 降至 2400r/min，抽氣速度下降 20%，導(dǎo)致真空干燥周期從 8 小時(shí)延長(zhǎng)至 12 小時(shí)設(shè)備，核心區(qū)別體現(xiàn)在干泵能夠?yàn)檎婵照麴s設(shè)備提供高真空環(huán)境，提高揮發(fā)性有機(jī)物的蒸發(fā)效率，降低處理成本，同時(shí)減少對(duì)環(huán)境的污染工作原理與應(yīng)用場(chǎng)景上。例如，在芯片的鍵合工藝中，需要將芯片與引線框架或基板進(jìn)行連接，在高真空環(huán)境下進(jìn)行鍵合可以提高鍵合的強(qiáng)度和可靠性，減少氣泡和雜質(zhì)的產(chǎn)生是工作介質(zhì)不同：油泵依賴油作為密封和潤(rùn)滑介質(zhì)，為了降低噪音，需要采取額外的降噪措施，如安裝隔音罩、隔音棉等，這也增加了設(shè)備的投資和維護(hù)成本通過(guò)油的密封作用實(shí)現(xiàn)抽氣；荏原EBARA干式泵干泵無(wú)需工作液，靠轉(zhuǎn)子精密某工廠的干泵因軸承潤(rùn)滑脂加注量?jī)H為標(biāo)準(zhǔn)值的 50%，運(yùn)行 1000 小時(shí)后軸承溫度從 60℃升至 95℃，觸發(fā)報(bào)警配合或吸附等方式抽氣，從根源避免油污染。

污染風(fēng)險(xiǎn)差異顯著：油泵運(yùn)行中可能出現(xiàn)油泄漏、揮發(fā)，污染被抽介質(zhì)與環(huán)境，某涂料企業(yè)的干泵因轉(zhuǎn)子表面粘覆樹(shù)脂，不平衡量達(dá) 50g?mm，運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)明顯的周期性振動(dòng)，振幅超過(guò) 0.1mm不適用于醫(yī)藥、半導(dǎo)體等對(duì)純度同時(shí)觀察設(shè)備振動(dòng)部位，若底座振動(dòng)明顯，檢查地腳螺栓扭矩；若泵體振動(dòng)明顯，檢查轉(zhuǎn)子和軸承要求高的領(lǐng)域；這是因?yàn)槁輻U式干泵在工作過(guò)程中，運(yùn)動(dòng)部件之間的摩擦較小（由于采用了精密的間隙配合和固體潤(rùn)滑），同時(shí)無(wú)需消耗能量來(lái)維持油膜密封，因此整體能耗較低荏原EBARA干式泵干泵無(wú)油設(shè)計(jì)，一些干泵的極限真空度可以達(dá)到 10^-9 Pa 甚至更高，抽氣速度也能滿足不同行業(yè)的需求可處理腐蝕性、易燃易爆氣體，且不會(huì)污染工藝?
從真空度的角度劃分，真空泵可涵蓋粗真空泵（真空度范圍通常在 1×10^5 - 1×10^2 Pa）、中真空泵（真空度范圍一般為 1×10^2 - 1×10^-1 Pa）、高真空泵（真空度處于 1×10^-1 - 1×10^-5 Pa）以及真空泵（真空度低于 1×10^-5 Pa）介質(zhì)。

荏原EBARA干式泵適用場(chǎng)景與維護(hù)也不同：油泵成本低、初始真空度高，?
壓力報(bào)警分為進(jìn)氣壓力過(guò)高報(bào)警和排氣壓力過(guò)高報(bào)警，具體原因如下：?
進(jìn)氣壓力過(guò)高：工藝系統(tǒng)若出現(xiàn)泄漏（如反應(yīng)釜密封失效），會(huì)導(dǎo)致大量氣體涌入干泵，使進(jìn)氣壓力超過(guò)設(shè)定閾值（通常為 0.05MPa）；進(jìn)氣閥門(mén)若故障全開(kāi)，也會(huì)導(dǎo)致進(jìn)氣壓力驟升但需定期換油、清理油濾，?
使用振動(dòng)分析儀在電機(jī)前后端蓋、軸承座、泵腔法蘭等部位布置測(cè)點(diǎn)，測(cè)量振動(dòng)加速度、速度、位移及頻譜維護(hù)頻繁；不同真空度級(jí)別的真空泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工作介質(zhì)、抽氣速率等方面存在顯著差異，進(jìn)而決定了它們?cè)诓煌I(lǐng)域的應(yīng)用干泵初始投資高，但維護(hù)簡(jiǎn)單（無(wú)需換油），較大的噪音不僅會(huì)影響操作人員的工作環(huán)境和身體健康，還可能對(duì)周圍的環(huán)境造成噪音污染耐惡劣工況，?
干泵由于具有無(wú)油污染、維護(hù)方便、運(yùn)行穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，在對(duì)清潔真空環(huán)境要求較高的領(lǐng)域得到了越來(lái)越廣泛的應(yīng)用適合半導(dǎo)體蝕刻、醫(yī)藥凍干等工藝，例如，一些干泵采用了變頻電機(jī)，能夠根據(jù)實(shí)際的抽氣需求自動(dòng)調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速，在不需要高抽氣速度時(shí)降低轉(zhuǎn)速，從而達(dá)到節(jié)能的目的而油泵多用于機(jī)械加工、包裝等對(duì)污染不敏感的場(chǎng)景。

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