型式 強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹脂 強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂
主體結(jié)構(gòu) 交聯(lián)聚苯乙烯 交聯(lián)聚苯乙烯
官能基 磺酸基 I 型季胺官能基
物理性質(zhì) 球狀顆粒 球狀顆粒
離子型式 氫型 氫氧型
粒徑范圍 16-50 16-50
粒度范圍 0.3-1.2mm 0.3-1.2mm
微粒含量 小于 0.3 的 2%經(jīng)過 40 sh 小于 0.3 的 2%經(jīng) 40 sh
總交換容量 1.8 meq/ml
PH 范圍 0-14 0-14
允許溫度 120℃ 80℃
溶解率 不溶于任何常見溶劑 不溶于任何常見溶劑
半導(dǎo)體拋光樹脂是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的材料,主要用于拋光半導(dǎo)體晶圓的表面。它能夠去除晶圓表面的缺陷、氧化層以及其他污染物,使晶圓表面變得平滑,以提高半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。 半導(dǎo)體拋光樹脂通常由有機(jī)聚合物、磨料和添加劑組成。有機(jī)聚合物作為基礎(chǔ)材料,能夠提供樹脂的粘結(jié)性和拋光性能;磨料則起到研磨晶圓表面的作用,常見的磨料有二氧化硅、氧化鋁等;添加劑則用于調(diào)節(jié)樹脂的黏度、pH值等特性,以及提供一定的抗氧化性能。 在半導(dǎo)體制造過程中,半導(dǎo)體拋光樹脂通常通過機(jī)械拋光的方式應(yīng)用于晶圓表面。晶圓被放置在旋轉(zhuǎn)盤上,樹脂涂敷在晶圓表面,然后通過旋轉(zhuǎn)盤和拋光墊的摩擦作用,使樹脂中的磨料研磨晶圓表面,達(dá)到平滑和去除缺陷的效果。 半導(dǎo)體拋光樹脂具有良好的拋光性能、穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)和可靠的機(jī)械性能,可以滿足半導(dǎo)體制造過程中對(duì)晶圓表面質(zhì)量的要求。同時(shí),它還能夠減少晶圓表面的殘留污染物,提高半導(dǎo)體器件的性能和可靠性,因此在半導(dǎo)體制造工藝中得到了廣泛應(yīng)用。
超純水是為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水,其電阻率大于18 MΩcm,或接近18.3 MΩcm極限值(25℃)。
超純水精處理混床樹脂系采用國(guó)際上的核子級(jí)樹脂制造工藝,采用高純?cè)噭┙?jīng)多道嚴(yán)格工序精制而得的一種超純精制樹脂(拋光樹脂)。
適合于應(yīng)用在RO、EDI系統(tǒng)裝置中做為終端精制混床,用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)、半導(dǎo)體材料制備等行業(yè)的超純水生產(chǎn),超純水精制中,如生產(chǎn)磁盤驅(qū)動(dòng)器、顯示設(shè)備、立的半導(dǎo)體設(shè)備、低密集成電路,或者用于后級(jí)集成電路的分塊和配件操作中,也可用于各種水處理工藝后進(jìn)行的精處理,含物質(zhì)的水處理系統(tǒng)等。具有產(chǎn)品純度高,運(yùn)行周期長(zhǎng),出水水質(zhì)穩(wěn)定,溶出物極低等特點(diǎn)。
當(dāng)進(jìn)水水質(zhì)>16.5MΩ.cm時(shí),出水水質(zhì)可達(dá)18MΩ.cm以上。且TOC含量水于5ppb。
目前部分國(guó)內(nèi)用戶對(duì)拋光混床樹脂的了解過于單一,比如一些用戶(比如實(shí)驗(yàn)室用水)認(rèn)為自己的用水量不大,設(shè)備不帶再生能力,而對(duì)出水指標(biāo)要求又比較高,所以把一切要求都寄托于拋光混床樹脂的處理上,其實(shí)這種想法是有問題的。個(gè)人一直想對(duì)目前高純水、超純水市場(chǎng)的一些不正?,F(xiàn)象提幾點(diǎn)建議,現(xiàn)在正好借你的問題一起交流溝通如下:
1)市場(chǎng)通及對(duì)比
由于早些年很多高純水、超純水設(shè)備乃至生產(chǎn)線都是國(guó)外引進(jìn),所以拋光混床樹脂也都是國(guó)外。就目前市場(chǎng)通的國(guó)外拋光混床樹脂的品質(zhì)而言,羅門哈斯的拋光樹脂出水指標(biāo)佳,陶氏和朗盛隨后。國(guó)產(chǎn)中規(guī)?;a(chǎn)線并不多見,年產(chǎn)能1000立方以上的就浙江爭(zhēng)光一家。但由于合成原料純度、樹脂選型及生產(chǎn)工藝的嚴(yán)謹(jǐn)性不同,國(guó)外拋光樹脂的品質(zhì)憂于國(guó)產(chǎn)拋光樹脂,當(dāng)然,國(guó)外拋光樹脂的價(jià)格也遠(yuǎn)遠(yuǎn)國(guó)產(chǎn)拋光樹脂。
人們常說(shuō)的拋光樹脂一般用于超純水處理系統(tǒng)末端,來(lái)系統(tǒng)出水水質(zhì)能夠維持用水標(biāo)準(zhǔn)。一般出水水質(zhì)都能達(dá)到18兆歐以上,以及對(duì)TOC、SIO2都有一定的控制能力。拋光樹脂出廠的離子型態(tài)都是H、OH型,裝填后即可使用無(wú)需再生。一般用于半導(dǎo)體行業(yè)。
Tulsimer MB-115:原裝進(jìn)口低階核子級(jí)拋光樹脂,進(jìn)水電阻率10兆歐以上出水可穩(wěn)定達(dá)到17.5兆歐,有 ,處理水量大:1L樹脂可處理60-80噸水;